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    晶圆键合检测/应力测试仪

  • 产品规格

    技术指标:

    1.  一次检测范围:

    最大:ø100mm(仅用于定性无损检测);ø75mm (定量应力检测);

    最小:ø 10mm

    2.  检测分辨率

    图像分辨率: 500万像素(用于无损检测);125万像素(1224*1024,用于定量应力测试);

    空间分辨率: 优于 50微米;

    应力双折射分辨率:优于3nm;

    3. 检测精度

    应力双折射:优于5nm;

    应力:优于1.0MPa (基于0.4mm的硅梁,四点弯曲试验);

    4. 全场检测速度

    应力场检测:60s (基于像素偏振相机);

    5.  试件平台移动范围

    X轴:大于100mm;  Y轴:大于100mm;  Z 轴:大于400mm

    6. 光源指标

    功率:溴钨灯:150W或1177nm激光:0.5W ;

    光斑尺寸:100mm-10mm 连续可调(总功率保持不变)。

该设备主要用于硅晶圆(最大4'') 的试件键合质量检测(内部隐裂缺陷等)以及整体残余应力场的测试等。
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技术指标:

1.  一次检测范围:

最大:ø100mm(仅用于定性无损检测);ø75mm (定量应力检测);

最小:ø 10mm

2.  检测分辨率

图像分辨率: 500万像素(用于无损检测);125万像素(1224*1024,用于定量应力测试);

空间分辨率: 优于 50微米;

应力双折射分辨率:优于3nm;

3. 检测精度

应力双折射:优于5nm;

应力:优于1.0MPa (基于0.4mm的硅梁,四点弯曲试验);

4. 全场检测速度

应力场检测:60s (基于像素偏振相机);

5.  试件平台移动范围

X轴:大于100mm;  Y轴:大于100mm;  Z 轴:大于400mm

6. 光源指标

功率:溴钨灯:150W或1177nm激光:0.5W ;

光斑尺寸:100mm-10mm 连续可调(总功率保持不变)。